关键词： (196个字符) 多靶聚焦磁控溅射镀膜机、 双室多靶聚焦磁控溅射镀膜机、 电子束蒸发镀膜机、 激光蒸发镀膜机、 电阻蒸发镀膜机、 小型硬质涂层设备、 工模具硬质涂层设备、 光学镀膜机、 PECVD镀膜设备、 MOCVD镀膜设备、 中频磁控溅射镀膜机、 多弧离子镀膜机、 磁控溅射多弧复合离子镀膜机、 连续式磁控溅射真空镀膜生产线等系列真空镀膜设备。核心部件包括：平面磁控溅射靶、 旋转磁控溅射靶、 旋转柱弧源、 平面弧源、 磁过滤弧源、 离子源等、

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